Inspección de semiconductores de alta calidad en y sobre la oblea
En los módulos semiconductores es fundamental llevar a cabo una inspección precisa e íntegra a fin de detectar posibles deterioros y defectos derivados de la producción. Por ello, es preciso efectuar una prueba no destructiva de las obleas a fin de comprobar la lisura y pureza de la superficie de las mismas. Además, es fundamental comprobar que no haya defectos debajo de la superficie y llevar a cabo una medición del chip y del adhesivo de obturación en componentes MEM (p. ej. sensores).
Alcance de la inspección:
- Bare wafers
- Chips
- MEMS
- Obleas compuestas
- SOI
- Flip-chips
- Aplicaciones fotovoltaicas
Las fuentes de luz infrarroja (matriz de luz de semiconductores: SLM) de la tecnología Si-Thru generan, en una determinada longitud de onda (aprox. 1 µm) una luz infrarroja muy eficiente en un espectro muy estrecho, adecuado especialmente para las aplicaciones de inspección de semiconductores. Estas fuentes facilitan una detección inigualable de los defectos incluidos.
Los sistemas de inspección Viscom MX100IR y MX2000IR asumen estas tareas. El sistema de escritorio MX100IR es especialmente útil para la inspección de lotes pequeños. A ello se suma el sistema MX2000IR que, al contrario del MX100IR, está concebido para llevar a cabo la inspección de un mediano y gran número de unidades. Se pueden cargar de forma automática hasta cuatro cartuchos con 25 obleas como máximo sin que sea necesario intervenir manualmente.
