MX100IR – Oblea de sobremesa AOI

Principales ventajas

Inspección de sobremesa de obleas automática y ultraexacta

  • Iluminación IR en la luz transmitida e incidente
  •  Las fuentes de luz infrarroja tienen una vida útil prolongada, son escalables, de alto rendimiento y garantizan una resolución muy elevada
  • Inspección no destructiva (END) en y sobre la oblea
  • Carga y descarga manuales, por lo que el sistema se adecúa sobre todo para la inspección de lotes pequeños
Viscom-Plus
  • Inspección fiable en un mínimo tiempo de ciclo
  • Adaptación del software a las necesidades del cliente
  • En la línea no necesita mucho espacio
  • Interfaz de usuario en casi todos los idiomas
  • Completo análisis estadístico del proceso
  • Procesamiento autónomo de imágenes en tiempo real con herramientas de análisis desarrolladas por Viscom
Datos técnicos
Alcance de
la inspección
Bare Wafer, Chips, MEMS, uniones bond para wafer,
SOI, flip-chips, ingeniería fotovoltaica
Modo de inspección

Algoritmo automático de inspección para uso bajo criterios personalizados
de Pass-/Fail (aprobado/suspendido)
Posibilidad de calificar cada aparato y oblea según los resultados "Pass/Fail"
clasificación de los errores
Modo escaneado del nivel de oblea

Tecnología de sensores

Cámara CCD de alta resolución por infrarrojo cercano (NIR):
Iluminación: fuente de luz infrarroja
(matriz de luz de semiconductores (IR-SLM))
Resolución: 3,5 μm/Píxel estándar; 0,7 - 10 μm/
Píxel disponible, dependiendo de la
aplicación y de las exigencias del cliente

Inspección del nivel
de los circuitos integrados
Dimensiones del aparato: Flexible
Oblea

Diámetro: Hasta 300 mm
Grosor: Hasta 2000 μm
Alineación de la oblea: Se toman como referencia los fiduciales con neutralización de la rotación

Velocidad de inspecciónUnos pocos minutos por oblea
Opciones

Dimensión configurable de la imagen
Diversas opciones configurables de iluminación
Mandril personalizado de vacío o
soporte mecánico

Otros datos del sistema

Conexión eléctrica: 100-240 VAC, 50/60 Hz
Dimensiones: 540 x 810 x 940 mm (longitud x anchura x altura)
Peso: 150 kg

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