MX100IR – Système de table AOI pour l'inspection de wafers

Les atouts

Système de table pour l'inspection automatique ultra précise de wafers, notamment pour les petites tailles de lots

  • Éclairage infrarouge (éclairage transversal et vertical)
  • Les sources de lumière infrarouge ont une longue durée de vie. De plus, elles sont réglables, très performantes et garantissent une résolution très élevée.
  • Contrôle non-destructif interne et externe du wafer
  • Chargement et déchargement manuels pour ce système conçu notamment pour l'inspection de petites tailles de lots
Viscom Plus
  • Inspection performante dans un temps de cycle record
  • Adaptations logicielles spécifiques client
  • Encombrement réduit dans la ligne de production
  • Interface utilisateur disponible dans les principales langues nationales
  • Analyse de processus statistique globale
  • Module de traitement d'images en temps réel de Viscom, avec outils d'analyse
Spécifications techniques
Domaines d'applicationBare wafer, chips, MEMS, wafer-bonds, SOI, Flip Chips,
cellules photovoltaïques
Mode d'inspection

Algorithme de contrôle automatique utilisant des critères d'acceptation / de rejet personnalisés
Option de qualification « acceptation / rejet » pour chaque composant et
chaque wafer, Classification des défauts
Mode « Wafer-Level-Scanning »

Technologie des capteurs

Caméra CCD proche infrarouge haute résolution :
Éclairage : source de lumière infrarouge (source de rayonnement IR-SLM)
Résolution : 3,5 μm/pixel standard ; 0,7 - 10 μm/pixel disponible,
selon l'application et les exigences du client

Inspection de mesure
de niveau
Taille du composant : flexible
Wafer

Diamètre : jusqu'à 300 mm
Épaisseur : jusqu'à 2000 μm
Wafer Alignment : référence sur mires de centrage avec compensation de rotation

Vitesse d'inspectionQuelques minutes par wafer
Options

Taille d'image configurable
Plusieurs options d'éclairage configurables
Table à dépression spécifique client ou support mécanique

Autres informations

Puissances connectées : 100-240 VAC, 50/60 Hz
Dimensions du système : 540 x 810 x 940 mm (larg. x prof. x haut.)
Poids : 150 kg

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